Cédric Frilay

Assistant Ingénieur CNRS en élaboration de matériaux en couches minces
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Affiliations actuelles
  • Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique (CIMAP - UMR 6252)
  • Nanomatériaux, Ions et Métamatériaux pour la Photonique (NIMPH)
Contact

Présentation

curriculum vitae: 2018 : Assistant Ingénieur en élaboration de matériaux en couches minces au CNRS, laboratoire CIMAP (Centre de Recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique, 120 membres). 2007 : Technicien de recherche (BAP B) du CNRS par mutation au laboratoire SIFCOM (Caen). 2003 : Technicien d'enseignement et de recherche, à l'Université de Versailles. 2001-2003 : Adjoint technique au laboratoire Matériaux et Procédés de l'École Centrale Paris. 1999-2001 : Adjoint technique au sein du lycée Raspail, département physique.

Je suis en charge de définir des protocoles d’élaboration et de la fabriquer de films minces à l'aide de trois réacteurs de dépôt : PVD : Deux bâtis de pulvérisation cathodique magnétron. CVD : Un bâti de dépôt de couches atomiques (ALD). L'élaboration inclut aussi le recuit sous atmosphères contrôlées (oxydante, réductrice, neutre) afin d'obtenir la structure finale des films minces. J'établis des modes opératoires adaptés à chaque matériau par une approche empirique combinant dépôt et caractérisation. Je mets en œuvre et développe des méthodes avancées de structuration des substrats avant dépôt : Anodisation électrochimique : Permet de créer des membranes poreuses en alumine servant de masque pour la croissance de nanostructures par ALD. Photolithographie : Utilisation de lithographie sans masque pour la structuration d'électrodes métalliques et de motifs périodiques avant dépôt par ALD ou PVD. Caractérisation des films minces Les caractérisations effectuées permettent de contrôler les propriétés optiques et physiques des films déposés : • Ellipsométrie spectroscopique • Spectroscopie UV-visible, FTIR • Spectroscopie de photoluminescence

Gestion des stocks de consommables, Passation et suivi des commandes (42 000€ HT en 2024) Participation à la rédaction de projets et à leur budget Contribution à l'acquisition d'équipements scientifiques • Rédaction de cahiers des charges techniques (exemple le CPER de 2024) • Démarches auprès des fabricants, négociation de devis Valorisation des équipements via des collaborations industrielles et académiques Gestion de projets et acquisition d'équipements • Réception et installation des nouveaux équipements. • Tests de calibration et optimisation des processus. Formation et encadrement Formation des nouveaux utilisateurs et rédaction de guides techniques • Formation des nouveaux arrivants (stagiaires, post-docs, doctorants). • Encadrement d'étudiants de l'ENSICAEN et de Master 2 de l'Université de Caen. • Formateur à l’ALD pour le personnel de Murata Integrated Passive Solutions (Caen). Rédaction de protocoles et notices d'utilisation des appareils ou méthodes Collaborations et activités scientifiques • Partenariats avec des laboratoires français et étrangers (CEMES, CRISMAT, GREYC, Taïwan, Rép. Tchèque, Laboratoire commun IPDN avec Murata). • Participation à la rédaction d'articles scientifiques et à des conférences. Organisation du Workshop RAFALD 2022 (gestion des sponsors et logistique

Participation aux forums des métiers de la recherche et salon des étudiants (de 2012 à 2017) Membre du Conseil d'Unité (2016-2022). Assistant de prévention en hygiène et sécurité au CIMAP

Domaines de recherche

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique Plasmas Electronique

Compétences

ALD Salle Blanche Films minces Matériaux ellipsométrie pulvérisation cathodique

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Publications

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Tailoring structural and optical properties of Ta2O5 thin films via radio frequency magnetron sputtering for high-refractive index transparent materials

Aïmane Cheikh , Jeremie Gonçalves , Christophe Labbé , Xavier Portier , Philippe Marie et al.
Journal of Alloys and Compounds, 2025, pp.183273. ⟨10.1016/j.jallcom.2025.183273⟩
Article dans une revue hal-05223847 v1
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Enhanced optical and electrical properties of Nb-doped TiO2 thin films synthesized by atomic layer deposition using the supercycle strategy

Getaneh Diress Gesesse , Olivier Debieu , Aline Jolivet , Cédric Frilay , Sylvain Duprey et al.
Journal of Alloys and Compounds Communications, 2024, 3 (24), pp.100018. ⟨10.1016/j.jacomc.2024.100018⟩
Article dans une revue hal-04675798 v1
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Structural, optical, and electrical properties of TiO$_2$ thin films deposited by ALD: Impact of the substrate, the deposited thickness and the deposition temperature

Aline Jolivet , Christophe Labbé , Cédric Frilay , Olivier Debieu , Philippe Marie et al.
Applied Surface Science, 2023, 608, pp.155214. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.155214⟩
Article dans une revue hal-03807517 v1
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Comprehensive investigation of Er$_2$O$_3$ thin films grown with different ALD approaches

L. Khomenkova , H. Merabet , M.-P. Chauvat , C. Frilay , X. Portier et al.
Surfaces and Interfaces, 2022, 34, pp.102377. ⟨10.1016/j.surfin.2022.102377⟩
Article dans une revue hal-03790146 v1
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Growth and study of Tb$^{3+}$ doped Nb$_2$O$_5$ thin films by radiofrequency magnetron sputtering: photoluminescence properties

Bryan Horcholle , Christophe Labbé , Xavier Portier , Philippe Marie , Cédric Frilay et al.
Applied Surface Science, 2022, 597, pp.153711. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.153711⟩
Article dans une revue hal-03675408 v1
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Influence of post annealing treatments on the luminescence of rare earth ions in ZnO:Tb,Eu/Si heterojunction

C. Guillaume , J.L. Frieiro , O. Blázquez , C. Labbe , J. López-Vidrier et al.
Applied Surface Science, 2021, 556, pp.149754. ⟨10.1016/j.apsusc.2021.149754⟩
Article dans une revue hal-03195570 v1
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Thermally induced evolution of optical and structural properties of Er2O3 films grown on Si substrates by thermal atomic layer deposition

L. Khomenkova , M.-P. Chauvat , P. Marie , C. Frilay , Franck Lemarié et al.
Materials Letters, 2020, 263, pp.127216. ⟨10.1016/j.matlet.2019.127216⟩
Article dans une revue hal-02424202 v1
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First down converter multilayers integration in an industrial Si solar cell process

Lucile Dumont , Julien Cardin , Christophe Labbé , Cédric Frilay , Pierre-Matthieu Anglade et al.
Progress in Photovoltaics, 2019, 27 (2), pp.152-162. ⟨10.1002/pip.3071⟩
Article dans une revue hal-01867390 v1

Thermal Treatments and Photoluminescence Properties of ZnO and ZnO:Yb Films Grown by Magnetron Sputtering

Clément Guillaume , Christophe Labbé , Cédric Frilay , Jean-Louis Doualan , Franck Lemarié et al.
Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2019, 216 (2), pp.1800203. ⟨10.1002/pssa.201800203⟩
Article dans une revue hal-02406460 v1
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On the interplay between Si-Er-O segregation and erbium silicate (Er 2 Si 2 O 7 ) formation in Er-doped SiO x thin films

Georges Beainy , C. Frilay , Philippe Pareige , F. Gourbilleau , Etienne Talbot
Journal of Alloys and Compounds, 2018, 755, pp.55 - 60. ⟨10.1016/j.jallcom.2018.04.310⟩
Article dans une revue hal-01785730 v1
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Structural and emission properties of Tb3+-doped nitrogen-rich silicon oxynitride films

Christophe Labbe , Yong-Tao An , Grzegorz Zatryb , Xavier Portier , Artur Podhorodecki et al.
Nanotechnology, 2017, ⟨10.1088/1361-6528/aa5ca0⟩
Article dans une revue hal-01453463 v1

Effect of rapid thermal treatments on the physical properties of Cobalt Doped ZnO Films

C. Davesnne , C. Frilay , P. Marie , C. Labbé , F. Ehré et al.
MRS Advances, 2016, 1 (2), pp.163-168. ⟨10.1557/adv.2016.90⟩
Article dans une revue hal-02413010 v1

Two components for one resistivity in LaVO3/SrTiO3 heterostructure

H Rotella , O Copie , A Pautrat , P Boullay , A David et al.
Journal of Physics: Condensed Matter, 2015, 27 (9), pp.095603 1-8. ⟨10.1088/0953-8984/27/9/095603⟩
Article dans une revue hal-01164152 v1

Two components for one resistivity in LaVO 3 /SrTiO 3 heterostructure

H. Rotella , O. Copie , A. Pautrat , P. Boullay , A David et al.
Journal of Physics: Condensed Matter, 2015, 27 (9), pp.095603. ⟨10.1088/0953-8984/27/9/095603⟩
Article dans une revue hal-02162476 v1

Concentration determination and activation of rare earth dopants in zinc oxide thin films

A. Ziani , A. Tempez , C. Frilay , C. Davesnne , C. Labbe et al.
Physica Status Solidi C: Current Topics in Solid State Physics, 2014, 11 (9-10), pp.1. ⟨10.1002/pssc.201300636⟩
Article dans une revue istex hal-01149627 v1
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Annealing effects on the photoluminescence of terbium doped zinc oxide films

Ahmed Ziani , Christian Davesnne , Christophe Labbé , Julien Cardin , Philippe Marie et al.
Thin Solid Films, 2014, 553, pp.52-57. ⟨10.1016/j.tsf.2013.11.123⟩
Article dans une revue hal-01138059 v1

Energy transfer mechanism between terbium and europium ions in zinc oxide and zinc silicates thin films

Christian Davesnne , Ahmed Ziani , Christophe Labbé , Philippe Marie , Cedric Frilay et al.
Thin Solid Films, 2014, 553, pp.33. ⟨10.1016/j.tdf.2013.11.122⟩
Article dans une revue hal-01149623 v1

Atomic Layer Deposition of Spinel Bimetallic Oxides for Enhanced Photoelectrochemical Energy Conversion

Bilal Bawab , Getaneh Diress Gesesse , Olivier Debieu , C. Labbe , Philippe Marie et al.
EMRS spring meeting 2025, EMRS, May 2025, Strasbourg, France
Communication dans un congrès hal-05098503 v1

Growth and study of Ta2O5 thin films by radiofrequency magnetron sputtering

Aïmane Cheikh , Jeremie Goncalves , C. Labbe , Xavier Portier , Philippe Marie et al.
E-MRS Spring Meeting ,Symposium I (Nano-engineered coatings and thin films: from fundamentals to applications), Strasbourg, France., E-MRS, May 2024, Strabourg, France
Communication dans un congrès hal-04921799 v1

Strontium Vanadate Deposited by ALD: Toward a New Synthesis Approach

Aline Jolivet , Julien Cardin , Aimane Cheikh , Cédric Frilay , F. Gourbilleau et al.
244th ECS Meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291489mtgabs⟩
Communication dans un congrès hal-04384320 v1

Nb (V, Nb/V)-Doped TiO2 Films as New Transparent Conducting Oxides Synthesized by a Novel ALD Process: Effect of Dopant Content and Growing Conditions

Getaneh Diress Gesesse , Olivier Debieu , Aline Jolivet , Cédric Frilay , Sylvain Duprey et al.
244th ECS Meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291487mtgabs⟩
Communication dans un congrès hal-04384247 v1

Toward an Insulator-to-Metal Transition (IMT) in VOx Deposited by ALD: Huge Effect on Large IR Transmission Range

Aline Jolivet , Julien Cardin , Cédric Frilay , Olivier Debieu , Philippe Marie et al.
244th ECS meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291486mtgabs⟩
Communication dans un congrès hal-04384198 v1

(Invited) Luminescence of Rare Earth Doped Si Based Nanofilms for LED and Photovoltaic Applications

Florian Ehre , Julien Cardin , Christian Dufour , Fabrice Gourbilleau , Xavier Portier et al.
237th ECS Meeting with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020), May 2020, Montreal, Canada. pp.1064-1064, ⟨10.1149/ma2020-01161064mtgabs⟩
Communication dans un congrès hal-03792557 v1

Rare earth doped semiconducting nanofilms for Si-based light-emitting devices

Christophe Labbe , Florian Ehré , Christian Dufour , Fabrice Gourbilleau , Xavier Portier et al.
7th Int. Conf. on Nanotechnologies and Nanomaterials (Nano), Aug 2019, Lviv, Ukraine
Communication dans un congrès hal-02409326 v1

Rare earth doped silicon based frequency conversion layers for Si solar cell efficiency improvement

Lucile Dumont , Julien Cardin , Christophe Labbe , Cédric Frilay , P.-M. Anglade et al.
Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Nov 2018, Paris, France
Communication dans un congrès hal-02402866 v1

Rare earth doped Zinc oxide thin films for optoelectronic applications

Christian Davesnne , Ahmed Ziani , Julien Cardin , Christophe Labbe , Philippe Marie et al.
European Workshop on nano Transparent Conductive Materials, Jun 2012, Grenoble, France
Communication dans un congrès hal-00712577 v1

Rare earth doped Zinc oxide thin films for white LED

Christian Davesnne , Ahmed Ziani , Julien Cardin , Christophe Labbé , Philippe Marie et al.
3ème colloque nationale ZnO, Jun 2012, Paris, France
Communication dans un congrès hal-00712571 v1

Dispositifs Appliqués à la Photonique à base de Néodyme et de Silicium

Fabrice Gourbilleau , C. Dufour , J. Cardin , Olivier Debieu , Jean-Louis Doualan et al.
Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, Oct 2009, Toulouse, France
Communication dans un congrès hal-00585194 v1
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Photoluminescence Activity of Neodymium-Doped Gallium Oxide Thin Films

Céline Lecerf , Philippe Marie , Cédric Frilay , Julien Cardin , Xavier Portier
2007 MRS Fall Meeting, Nov 2007, Boston, United States. ⟨10.1557/PROC-1111-D07-04⟩
Communication dans un congrès hal-01498489 v1

DAYTIME RADIATIVE DEVICE

Julien Cardin , Ramzy Daou , Cédric Frilay , F. Gourbilleau , Jennifer Weimmerskirch-Aubatin et al.
France, Patent n° : EP2022063924/WO2022248413A1/FR2105377A. 2022
Brevet hal-04153671 v1