Cédric Frilay Assistant Ingénieur CNRS en élaboration de matériaux en couches minces

Présentation

curriculum vitae:2018 : Assistant Ingénieur en élaboration de matériaux en couches minces au CNRS, laboratoire CIMAP (Centre de Recherche sur les Ions, les Matériaux et la Photonique, 120 membres).2007 : Technicien de recherche (BAP B) du CNRS par mutation au laboratoire SIFCOM (Caen).2003 : Technicien d'enseignement et de recherche, à l'Université de Versailles.2001-2003 : Adjoint technique au laboratoire Matériaux et Procédés de l'École Centrale Paris.1999-2001 : Adjoint technique au sein du lycée Raspail, département physique.

Je suis en charge de définir des protocoles d’élaboration et de la fabriquer de films minces à l'aide de trois réacteurs de dépôt :PVD : Deux bâtis de pulvérisation cathodique magnétron.CVD : Un bâti de dépôt de couches atomiques (ALD).L'élaboration inclut aussi le recuit sous atmosphères contrôlées (oxydante, réductrice, neutre) afin d'obtenir la structure finale des films minces. J'établis des modes opératoires adaptés à chaque matériau par une approche empirique combinant dépôt et caractérisation.Je mets en œuvre et développe des méthodes avancées de structuration des substrats avant dépôt :Anodisation électrochimique : Permet de créer des membranes poreuses en alumine servant de masque pour la croissance de nanostructures par ALD.Photolithographie : Utilisation de lithographie sans masque pour la structuration d'électrodes métalliques et de motifs périodiques avant dépôt par ALD ou PVD.Caractérisation des films mincesLes caractérisations effectuées permettent de contrôler les propriétés optiques et physiques des films déposés :•	Ellipsométrie spectroscopique•	Spectroscopie UV-visible, FTIR•	Spectroscopie de photoluminescence

Gestion des stocks de consommables, Passation et suivi des commandes (42 000€ HT en 2024)Participation à la rédaction de projets et à leur budgetContribution à l'acquisition d'équipements scientifiques•	Rédaction de cahiers des charges techniques (exemple le CPER de 2024)•	Démarches auprès des fabricants, négociation de devisValorisation des équipements via des collaborations industrielles et académiquesGestion de projets et acquisition d'équipements•	Réception et installation des nouveaux équipements.•	Tests de calibration et optimisation des processus.Formation et encadrementFormation des nouveaux utilisateurs et rédaction de guides techniques•	Formation des nouveaux arrivants (stagiaires, post-docs, doctorants).•	Encadrement d'étudiants de l'ENSICAEN et de Master 2 de l'Université de Caen.•	Formateur à l’ALD pour le personnel de Murata Integrated Passive Solutions (Caen).Rédaction de protocoles et notices d'utilisation des appareils ou méthodesCollaborations et activités scientifiques•	Partenariats avec des laboratoires français et étrangers (CEMES, CRISMAT, GREYC, Taïwan, Rép. Tchèque, Laboratoire commun IPDN avec Murata).•	Participation à la rédaction d'articles scientifiques et à des conférences.Organisation du Workshop RAFALD 2022 (gestion des sponsors et logistique

Participation aux forums des métiers de la recherche et salon des étudiants (de 2012 à 2017)Membre du Conseil d'Unité (2016-2022).Assistant de prévention en hygiène et sécurité au CIMAP

Publications

Article dans une revue (17)

Tailoring structural and optical properties of Ta2O5 thin films via radio frequency magnetron sputtering for high-refractive index transparent materials Aïmane Cheikh,Jeremie Gonçalves,Christophe Labbé,Xavier Portier,Philippe Marieet al. Journal of Alloys and Compounds, 2025, pp.183273. ⟨10.1016/j.jallcom.2025.183273⟩ Article dans une revue hal-05223847v1
Enhanced optical and electrical properties of Nb-doped TiO2 thin films synthesized by atomic layer deposition using the supercycle strategy Getaneh Diress Gesesse,Olivier Debieu,Aline Jolivet,Cédric Frilay,Sylvain Dupreyet al. Journal of Alloys and Compounds Communications, 2024, 3 (24), pp.100018. ⟨10.1016/j.jacomc.2024.100018⟩ Article dans une revue hal-04675798v1
Structural, optical, and electrical properties of TiO$_2$ thin films deposited by ALD: Impact of the substrate, the deposited thickness and the deposition temperature Aline Jolivet,Christophe Labbé,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. Applied Surface Science, 2023, 608, pp.155214. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.155214⟩ Article dans une revue hal-03807517v1
Comprehensive investigation of Er$_2$O$_3$ thin films grown with different ALD approaches L. Khomenkova,H. Merabet,M.-P. Chauvat,C. Frilay,X. Portieret al. Surfaces and Interfaces, 2022, 34, pp.102377. ⟨10.1016/j.surfin.2022.102377⟩ Article dans une revue hal-03790146v1
Growth and study of Tb$^{3+}$ doped Nb$_2$O$_5$ thin films by radiofrequency magnetron sputtering: photoluminescence properties Bryan Horcholle,Christophe Labbé,Xavier Portier,Philippe Marie,Cédric Frilayet al. Applied Surface Science, 2022, 597, pp.153711. ⟨10.1016/j.apsusc.2022.153711⟩ Article dans une revue hal-03675408v1
Influence of post annealing treatments on the luminescence of rare earth ions in ZnO:Tb,Eu/Si heterojunction C. Guillaume,J.L. Frieiro,O. Blázquez,C. Labbe,J. López-Vidrieret al. Applied Surface Science, 2021, 556, pp.149754. ⟨10.1016/j.apsusc.2021.149754⟩ Article dans une revue hal-03195570v1
Thermally induced evolution of optical and structural properties of Er2O3 films grown on Si substrates by thermal atomic layer deposition L. Khomenkova,M.-P. Chauvat,P. Marie,C. Frilay,Franck Lemariéet al. Materials Letters, 2020, 263, pp.127216. ⟨10.1016/j.matlet.2019.127216⟩ Article dans une revue hal-02424202v1
First down converter multilayers integration in an industrial Si solar cell process Lucile Dumont,Julien Cardin,Christophe Labbé,Cédric Frilay,Pierre-Matthieu Angladeet al. Progress in Photovoltaics, 2019, 27 (2), pp.152-162. ⟨10.1002/pip.3071⟩ Article dans une revue hal-01867390v1
Thermal Treatments and Photoluminescence Properties of ZnO and ZnO:Yb Films Grown by Magnetron Sputtering Clément Guillaume,Christophe Labbé,Cédric Frilay,Jean-Louis Doualan,Franck Lemariéet al. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2019, 216 (2), pp.1800203. ⟨10.1002/pssa.201800203⟩ Article dans une revue hal-02406460v1
On the interplay between Si-Er-O segregation and erbium silicate (Er 2 Si 2 O 7 ) formation in Er-doped SiO x thin films Georges Beainy,C. Frilay,Philippe Pareige,F. Gourbilleau,Etienne Talbot Journal of Alloys and Compounds, 2018, 755, pp.55 - 60. ⟨10.1016/j.jallcom.2018.04.310⟩ Article dans une revue hal-01785730v1
Structural and emission properties of Tb3+-doped nitrogen-rich silicon oxynitride films Christophe Labbe,Yong-Tao An,Grzegorz Zatryb,Xavier Portier,Artur Podhorodeckiet al. Nanotechnology, 2017, ⟨10.1088/1361-6528/aa5ca0⟩ Article dans une revue hal-01453463v1
Effect of rapid thermal treatments on the physical properties of Cobalt Doped ZnO Films C. Davesnne,C. Frilay,P. Marie,C. Labbé,F. Ehréet al. MRS Advances, 2016, 1 (2), pp.163-168. ⟨10.1557/adv.2016.90⟩ Article dans une revue hal-02413010v1
Two components for one resistivity in LaVO3/SrTiO3 heterostructure H Rotella,O Copie,A Pautrat,P Boullay,A Davidet al. Journal of Physics: Condensed Matter, 2015, 27 (9), pp.095603 1-8. ⟨10.1088/0953-8984/27/9/095603⟩ Article dans une revue hal-01164152v1
Energy transfer mechanism between terbium and europium ions in zinc oxide and zinc silicates thin films Christian Davesnne,Ahmed Ziani,Christophe Labbé,Philippe Marie,Cedric Frilayet al. Thin Solid Films, 2014, 553, pp.33. ⟨10.1016/j.tdf.2013.11.122⟩ Article dans une revue hal-01149623v1
Annealing effects on the photoluminescence of terbium doped zinc oxide films Ahmed Ziani,Christian Davesnne,Christophe Labbé,Julien Cardin,Philippe Marieet al. Thin Solid Films, 2014, 553, pp.52-57. ⟨10.1016/j.tsf.2013.11.123⟩ Article dans une revue hal-01138059v1
Concentration determination and activation of rare earth dopants in zinc oxide thin films A. Ziani,A. Tempez,C. Frilay,C. Davesnne,C. Labbeet al. Physica Status Solidi C: Current Topics in Solid State Physics, 2014, 11 (9-10), pp.1. ⟨10.1002/pssc.201300636⟩ Article dans une revue istex hal-01149627v1
Silicon-rich oxynitride hosts for 1.5μm Er3+ emission fabricated by reactive and standard RF magnetron sputtering S. Cueff,C. Labbé,L. Khomenkova,O. Jambois,P. Pellegrinoet al. Materials Science and Engineering: B, 2012, 177 (10), pp.725-728. ⟨10.1016/j.mseb.2011.12.007⟩ Article dans une revue istex hal-05579029v1

Communication dans un congrès (20)

Atomic Layer Deposition of Spinel Bimetallic Oxides for Enhanced Photoelectrochemical Energy Conversion Bilal Bawab,Getaneh Diress Gesesse,Olivier Debieu,C. Labbe,Philippe Marieet al. EMRS spring meeting 2025, EMRS, May 2025, Strasbourg, France Communication dans un congrès hal-05098503v1
Controlling the Insulator-to-Metal Transition in VO₂ Thin Films through Tailored Magnetron Sputtering Deposition Conditions Jeremie Goncalves,C. Labbe,Xavier Portier,Cédric Frilay,Philippe Marieet al. E-MRS Fall Meeting 2025, E-MRS, Sep 2025, Varsovie, Poland Communication dans un congrès hal-05551356v1
Approaching the Insulator-to-Metal Transition (IMT) in ALD-Deposited VOx: Significant Impact on a Broad IR Transmission Range Aline Jolivet,Julien Cardin,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. E-MRS Fall Meeting 2025, Sep 2025, Varsovie, Poland Communication dans un congrès hal-05551349v1
Enhancing Optical Properties of Ta2O5 Thin Films Grown by Radiofrequency Magnetron Sputtering through Rapid Thermal Annealing Julien Cardin,Aïmane Cheikh,Jeremie Goncalves,C. Labbe,Xavier Portieret al. E-MRS Fall Meeting ,Symposium I (Nano-engineered coatings and thin films: from fundamentals to applications), Strasbourg, France., E-MRS, Sep 2025, Varsovie, Poland Communication dans un congrès hal-04921799v1
Strontium Vanadate Deposited by ALD: Toward a New Synthesis Approach Aline Jolivet,Julien Cardin,Aimane Cheikh,Cédric Frilay,F. Gourbilleauet al. 244th ECS Meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291489mtgabs⟩ Communication dans un congrès hal-04384320v1
Toward an Insulator-to-Metal Transition (IMT) in VOx Deposited by ALD: Huge Effect on Large IR Transmission Range Aline Jolivet,Julien Cardin,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. 244th ECS meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291486mtgabs⟩ Communication dans un congrès hal-04384198v1
Nb (V, Nb/V)-Doped TiO2 Films as New Transparent Conducting Oxides Synthesized by a Novel ALD Process: Effect of Dopant Content and Growing Conditions Getaneh Diress Gesesse,Olivier Debieu,Aline Jolivet,Cédric Frilay,Sylvain Dupreyet al. 244th ECS Meeting, ECS, Oct 2023, Göteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02291487mtgabs⟩ Communication dans un congrès hal-04384247v1
Nb/V-Doped Transparent Conductive TiO2 Films Synthesized by ALD: Effect of Dopant Content and Growing Conditions Getaneh Diress Gesesse,Olivier Debieu,Aline Jolivet,Cédric Frilay,Sylvain Dupreyet al. ALD 2022, AVS, Jun 2022, Ghent, Belgium Communication dans un congrès hal-05551049v1
Effect of Insulator-to-Metal Transition (Imt) in Vo2 Deposited by ALD Aline Jolivet,Julien Cardin,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. ALD 2022, AVS, Jun 2022, Ghent, Belgium Communication dans un congrès hal-05551068v1
Atomic Layer Deposition (ALD) of thermochromic VO2 thin film Aline Jolivet,Julien Cardin,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. E-MRS Spring Meeting, May 2022, Strasbourg, France Communication dans un congrès hal-05565823v1
RF magnetron sputtering deposition of multilayers optical filters for ultra-broadband applications with a large number of thin layers Maxime Duris,Bryan Horcholle,Cédric Frilay,C. Labbe,Xavier Portieret al. EOS Annual Meeting 2021, EOS, Sep 2021, Rome, Italy Communication dans un congrès hal-05550994v1
Impact of the growth mechanisms on Si and glass substrates on the structural, optical and electrical properties of anatase TiO2 thin films synthetized by ALD technique Aline Jolivet,C. Labbe,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. 239th ECS Meeting, ECS, May 2021, Digital Meeting, France Communication dans un congrès hal-05565906v1
Growth mechanism effect of anatase TiO2 deposited by ALD on different substrates on the structural, optical and electrical properties Aline Jolivet,C. Labbe,Cédric Frilay,Olivier Debieu,Philippe Marieet al. E-MRS Fall Meeting, Sep 2021, Virtual Conference, France Communication dans un congrès hal-05565915v1
Luminescence of Rare Earth Doped Si Based Nanofilms for LED and Photovoltaic Applications Florian Ehre,Julien Cardin,Christian Dufour,Fabrice Gourbilleau,Xavier Portieret al. 237th ECS Meeting with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020), May 2020, Montreal, Canada. pp.1064-1064, ⟨10.1149/ma2020-01161064mtgabs⟩ Communication dans un congrès hal-03792557v1
Rare earth doped semiconducting nanofilms for Si-based light-emitting devices Christophe Labbe,Florian Ehré,Christian Dufour,Fabrice Gourbilleau,Xavier Portieret al. 7th Int. Conf. on Nanotechnologies and Nanomaterials (Nano), Aug 2019, Lviv, Ukraine Communication dans un congrès hal-02409326v1
Rare earth doped silicon based frequency conversion layers for Si solar cell efficiency improvement Lucile Dumont,Julien Cardin,Christophe Labbe,Cédric Frilay,P.-M. Angladeet al. Réunion plénière du GDR NACRE, Nov 2018, Nov 2018, Paris, France Communication dans un congrès hal-02402866v1
Rare earth doped Zinc oxide thin films for optoelectronic applications Christian Davesnne,Ahmed Ziani,Julien Cardin,Christophe Labbe,Philippe Marieet al. European Workshop on nano Transparent Conductive Materials, Jun 2012, Grenoble, France Communication dans un congrès hal-00712577v1
Rare earth doped Zinc oxide thin films for white LED Christian Davesnne,Ahmed Ziani,Julien Cardin,Christophe Labbé,Philippe Marieet al. 3ème colloque nationale ZnO, Jun 2012, Paris, France Communication dans un congrès hal-00712571v1
Dispositifs Appliqués à la Photonique à base de Néodyme et de Silicium Fabrice Gourbilleau,C. Dufour,J. Cardin,Olivier Debieu,Jean-Louis Doualanet al. Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, Oct 2009, Toulouse, France Communication dans un congrès hal-00585194v1
Photoluminescence Activity of Neodymium-Doped Gallium Oxide Thin Films Céline Lecerf,Philippe Marie,Cédric Frilay,Julien Cardin,Xavier Portier 2007 MRS Fall Meeting, Nov 2007, Boston, United States. ⟨10.1557/PROC-1111-D07-04⟩ Communication dans un congrès hal-01498489v1

Poster de conférence (7)

Growth and study of Ta2O5 thin films by radiofrequency magnetron sputtering Aïmane Cheikh,Jeremie Goncalves,C. Labbe,Xavier Portier,Philippe Marieet al. E-MRS fall meeting 2025, Sep 2025, varsovie, Poland Poster de conférence hal-05551399v1
Optimization and Characterization of ALD-Deposited Nb₂O₅ for High-Performance MIM Capacitors Kou Ihara,C. Labbe,Cédric Frilay,Getaneh Diress Gesesse,Jeremie Blondet al. . 10e édition du Workshop du GDR RAFALD (Réseau des Acteurs Français de l'ALD), Oct 2024, Nantes, France Poster de conférence hal-04921889v1
Development of Advanced Bimetallic Oxide Photoelectrodes by ALD for Enhanced Hydrogen Production via Water Splitting Bilal Bawab,Getaneh Diress Gesesse,Olivier Debieu,C. Labbe,Cédric Frilayet al. 10e édition du Workshop du GDR RAFALD (Réseau des Acteurs Français de l'ALD), Oct 2024, Nantes, France Poster de conférence hal-04921779v1
Study of Nb2O5 high-k Dielectric Material Deposited by Atomic Layer Deposition for Metal-Insulator-Metal Capacitor Kou Ihara,C. Labbe,Julien Cardin,Cédric Frilay,Philippe Marieet al. ALD 2023, Jul 2023, Washington DC, United States Poster de conférence hal-05551091v1
Study of Nb2O5 High-k Dielectric Material Deposited By Atomic Layer Deposition for Metal-Insulator-Metal Capacitor Kou Ihara,Christophe Labbe,Julien Cardin,Cédric Frilay,Maxime Lemenager 244th ECS meeting, Oct 2023, Gôteborg, Sweden. ⟨10.1149/MA2023-02301556mtgabs⟩ Poster de conférence hal-04384421v1
Atomic layer deposition of niobium oxide (Nb2O5) and niobium-doped titanium oxide (Nb:TiO2) for solar cells applications T. Vincent,Damien Coutancier,Mirella Al Katrib,Muriel Bouttemy,Mathieu Frégnauxet al. 22nd International Conference on Atomic Layer Deposition: ALD Fundamentals, Jun 2022, Ghent, Belgium Poster de conférence hal-05567168v1
Integration of rare earth ions doped Si based down converter layers in an industrial Si solar cell Julien Cardin,L. Dumont,Christophe Labbe,P.-M. Anglade,Cédric Frilayet al. E-MRS fall meeting 2019, Sep 2019, Varsovie, Poland Poster de conférence hal-02301126v1

Brevet (1)

DAYTIME RADIATIVE DEVICE Julien Cardin,Ramzy Daou,Cédric Frilay,F. Gourbilleau,Jennifer Weimmerskirch-Aubatinet al. France, Patent n° : EP2022063924/WO2022248413A1/FR2105377A. 2022 Brevet hal-04153671v1