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Cédric NOEL
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Identifiants chercheurs
- cedric-noel
- ResearcherId : E-2570-2013
- 0000-0001-8651-1423
- IdRef : 136568742
Présentation
Publications
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Sub-micro a-C:H patterning of silicon surfaces assisted by atmospheric-pressure plasma-enhanced chemical vapor depositionJournal of Physics D: Applied Physics, 2016, 49 (44), pp.445306. ⟨10.1088/0022-3727/49/44/445306⟩
Article dans une revue
hal-02113592v1
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