Christophe Malhaire
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Christophe Malhaire est né en 1967. En 1998, il obtient le grade de docteur ès sciences de l’INSA de Lyon pour ses travaux au Laboratoire de Physique de la Matière sur le comportement thermomécanique de capteurs de pression piézorésistifs pour environnements sévères. Nommé maître de conférences en 1998, il poursuit ses recherches au LPM dans le domaine des Micro-Systèmes ElectroMécaniques dans l’équipe Micro-Nano-Systèmes et Intégration Fonctionnelle du Pr. Daniel Barbier. Il développe une spécificité dans l’étude des propriétés mécaniques des matériaux en films minces et du comportement de microstructures déformables. Il s’intéresse aussi aux actionneurs et capteurs MEMS piézoélectriques, à la fiabilité des capteurs pour environnements sévères et à l’intégration du silicium nanostructuré dans des dispositifs microfluidiques. Il soutient son HDR en 2006. En 2009, après la création de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR 5270), il rejoint l’équipe Dispositifs Électroniques. Il y développe de nouvelles méthodes de caractérisation et structures de tests mécaniques originales et étend ses recherches aux actionneurs à films polymères nanocomposites, aux MEMS pour la récupération d’énergie et aux jauges de déformations à haute sensibilité. Ses compétences concernent le développement de bancs de mesures, la profilométrie optique, la vibrométrie, les simulations par éléments finis, les microtechnologies silicium. Il a (co)encadré 10 thèses, a été rapporteur de 9 thèses, a porté ou participé à une vingtaine de projets de recherche, et est (co)auteur d'une trentaine d'articles de revues internationales et d'une trentaine d'articles de conférences avec comité de lecture.
Christophe MALHAIRE was born in 1967. He is assistant professor at the engineers school INSA Lyon, France, and researcher at the Department of Electronic, in the Electronic Devices research group, of the Lyon Institute of Nanotechnology (INL, CNRS UMR 5270). He received his PhD from INSA Lyon in 1998. He contributed to the study of the thermomechanical behaviour of piezoresistive pressure sensors for harsh environments. His research activities involve the development and the modeling of various micro-electromechanical systems (MEMS) with main focus on finite element modeling, thin film stress and elastic parameters measurements, piezoelectric actuators, MEMS reliability and thermomecanical studies of suspended microstructures.
Publications
Effet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer DepositionEffet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer Deposition, 2017, Strasbourg, France. 2017
Conference poster
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Les jonctions MIM comme jauge de contrainteLes jonctions MIM comme jauge de contrainte, 2016, Grenoble, France. 2016
Conference poster
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