Christophe Malhaire

Présentation

Christophe Malhaire est né en 1967. En 1998, il obtient le grade de docteur ès sciences de l’INSA de Lyon pour ses travaux au Laboratoire de Physique de la Matière sur le comportement thermomécanique de capteurs de pression piézorésistifs pour environnements sévères. Nommé maître de conférences en 1998, il poursuit ses recherches au LPM dans le domaine des Micro-Systèmes ElectroMécaniques dans l’équipe Micro-Nano-Systèmes et Intégration Fonctionnelle du Pr. Daniel Barbier. Il développe une spécificité dans l’étude des propriétés mécaniques des matériaux en films minces et du comportement de microstructures déformables. Il s’intéresse aussi aux actionneurs et capteurs MEMS piézoélectriques, à la fiabilité des capteurs pour environnements sévères et à l’intégration du silicium nanostructuré dans des dispositifs microfluidiques. Il soutient son HDR en 2006. En 2009, après la création de l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (UMR 5270), il rejoint l’équipe Dispositifs Électroniques. Il y développe de nouvelles méthodes de caractérisation et structures de tests mécaniques originales et étend ses recherches aux actionneurs à films polymères nanocomposites, aux MEMS pour la récupération d’énergie et aux jauges de déformations à haute sensibilité. Ses compétences concernent le développement de bancs de mesures, la profilométrie optique, la vibrométrie, les simulations par éléments finis, les microtechnologies silicium. Il a (co)encadré 10 thèses, a été rapporteur de 9 thèses, a porté ou participé à une vingtaine de projets de recherche, et est (co)auteur d'une trentaine d'articles de revues internationales et d'une trentaine d'articles de conférences avec comité de lecture.

Publications

Article dans une revue (17)

Closed-form solution of the deflection of a prestressed multilayer cantilever Christophe Malhaire Journal of Micromechanics and Microengineering, 2024, 35 (1), pp.015002. ⟨10.1088/1361-6439/ad9932⟩ Article dans une revue hal-04984513v1
Five simultaneous artificial intelligence data challenges on ultrasound, CT, and MRI N. Lassau,T. Estienne,P. de Vomecourt,M. Azoulay,John Cagnolet al. Diagnostic and Interventional Imaging, 2019, 100 (4), pp.199-209. ⟨10.1016/j.diii.2019.02.001⟩ Article dans une revue hal-02528753v1
Porous Silicon as Soft Material in Low-Frequency MEMS (MicroElectro-Mechanical Systems) Resonators Christophe Malhaire,A. Danescu,V. Lysenko,A. Sabac World journal of mechanics, 2018, 08 (11), pp.431 - 443. ⟨10.4236/wjm.2018.811031⟩ Article dans une revue hal-01914576v1
Ultrahigh Sensitivity to Strain of Cracked Thin Films Based on Metallic Nanoparticles in a Dielectric Matrix Etienne Puyoo,Solene Brottet,Rémi Rafael,Christophe Malhaire IEEE Sensors Letters, 2018, 2 (3), pp.1 - 4. ⟨10.1109/LSENS.2018.2865883⟩ Article dans une revue hal-01885535v1
Piezo-tunnel effect in Al/Al2O3/Al junctions elaborated by atomic layer deposition Rémi Rafael,Etienne Puyoo,Christophe Malhaire Journal of Applied Physics, 2017, 122, pp.184501 Article dans une revue hal-01701523v1
Metallic nanoparticle-based strain sensors elaborated by atomic layer deposition Etienne Puyoo,Christophe Malhaire,Daniel Thomas,Rémi Rafael,Mohamed R'Miliet al. Applied Physics Letters, 2017, 110, pp.123103. ⟨10.1063/1.4978778⟩ Article dans une revue hal-01701521v1
ALL-organic electrostrictive polymer composites with low driving electrical voltages for micro-fluidic pump applications Minh-Quyen Le,J. Capsal,Jérémy Galineau,F. Ganet,Y. Xunquianet al. Scientific Reports, 2015, 5, pp.11814. ⟨10.1038/srep11814⟩ Article dans une revue hal-01489396v1
Temperature dependence of the electromechanical characteristics of superconducting RF‐MEMS switches N. Alcheikh,P. Xavier,J. Duchamp,K. Schuster,Christophe Malhaireet al. Microsystem Technologies, 2015, 21(1), pp.301-307 Article dans une revue hal-01489333v1
Electromechanical study of polyurethane films with carbon black nanoparticles for MEMS actuators M. Roussel,Christophe Malhaire,Anne-Laure Deman,Jean-François Chateaux,L Petitet al. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2014, 24 (5), pp.055011. ⟨10.1088/0960-1317/24/5/055011⟩ Article dans une revue hal-01091260v1
Comparison of two experimental methods for the mechanical characterization of thin or thick films from the study of micromachined circular diaphragms Christophe Malhaire Review of Scientific Instruments, 2012, 83 (5), ⟨10.1063/1.4719964⟩ Article dans une revue hal-01893587v1
Inﬂuence of microstructure and internal stress on the mechanical behavior of electroplated gold freestanding thin ﬁlms J. Martegoutte,C. Seguineau,T. Fourcade,Christophe Malhaire,P. Martinset al. EPJ Web of Conferences, 2010, 14th International Conference on Experimental Mechanics (ICEM14) Jul 2010 Poitiers, 6, pp.26009. ⟨10.1051/epjconf/20100626009⟩ Article dans une revue hal-02020653v1
Bulge test and AFM point deflection method, two technics for the mechanical characterisation of very low stiffness freestanding films P. Martins,P. Delobelle,C. Malhaire,S. Brida,Damien Barbier European Physical Journal: Applied Physics, 2009, 45 (1), pp.10501. ⟨10.1051/epjap:2008187⟩ Article dans une revue hal-00480182v1
On the determination of Poisson’s ratio of stressed monolayer and bilayer submicron thick films P. Martins,Christophe Malhaire,S. Brida,Damien Barbier Microsystem Technologies, 2009, 15 (9), pp.1343-1348 Article dans une revue hal-02015814v1
Experimental setup and realization of thin film specimens for microtensile tests C. Malhaire,C. Seguineau,M. Ignat,C. Josserond,L. Deboveet al. Review of Scientific Instruments, 2009, 80 (2), pp.023901 1-5. ⟨10.1063/1.3077153⟩ Article dans une revue hal-00437164v1
Micro Tensile Tests on Aluminium Thin Films: Tensile Device and In Situ Observations Michel Ignat,Sabine Lay,Francine Roussel d'Herbey,Cédric Seguineau,Christophe Malhaireet al. MRS Online Proceedings Library, 2008, 1139 Article dans une revue hal-02051377v1
Design of bossed silicon membranes for high sensitivity microphone applications P. Martins,S. Beclin,S. Brida,S. Metivet,O. Stojanovicet al. Microsystem Technologies, 2007, 13 (11-12), pp.1495-1500 Article dans une revue hal-02051243v1
Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications G. Fleury,C. Malhaire,C. Populaire,Mireille Verdier,Arnaud Devoset al. Sensors and Actuators B: Chemical, 2007, 126 (1), pp.48-51. ⟨10.1016/j.snb.2006.10.038⟩ Article dans une revue istex hal-00293917v1

Communication dans un congrès (12)

Portable device integrating an ultrasensitive mechanical crack-based sensor for the wireless monitoring of cardiac activity Nicolas de Pinho Ferreira,Etienne Puyoo,Bertrand Massot,Solène Brottet,Christophe Malhaire 2020 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), Jun 2020, Lyon, France. pp.1-5, ⟨10.1109/DTIP51112.2020.9139156⟩ Communication dans un congrès hal-03344474v1
PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensors Etienne Puyoo,Daniel Thomas,Martine Le Berre,Liviu Militaru,Christophe Malhaireet al. RAFALD (Réseau des Acteurs Français de l’ALD), Nov 2018, Lyon, France Communication dans un congrès hal-02075020v1
Flexible Platinum Nanoparticle-based Piezoresistive Transducers Elaborated by Atomic Layer Deposition Etienne Puyoo,Christophe Malhaire,Daniel Thomas,Rémi Rafael,Mohamed R'Miliet al. AVS 17th International Conference on Atomic Layer Deposition, Jan 2017, Denver, United States Communication dans un congrès hal-01701470v1
Study of piezo-tunnel effect in Metal/Al2O3/Metal junctions Rémi Rafael,Etienne Puyoo,Christophe Malhaire 1st International Conference on Dielectrics (ICD 2016), 2016, Montpellier, France Communication dans un congrès hal-01489071v1
Improved MEMS energy harvesters by localized nanostructuring H.D. Mousselmal,L. Petit,C. Malhaire,Skandar Basrour,B. Remaki Journées Nano Micro Technologies au service de l’Energie, Nov 2012, Lyon, France Communication dans un congrès hal-01432105v1
Nanoindentation experiments with small tip radii: an experimental method Julien Martegoutte,Cédric Seguineau,Christophe Malhaire,Thibaut Fourcade,Jean-Michel Desmarreset al. 2010 Symposium on Design Test Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2010, Seville, Spain Communication dans un congrès hal-02049369v1
On the determination of Poisson’s ratio of stressed monolayer and bilayer submicron thick films P. Martins,C. Malhaire,S. Brida,Damien Barbier DTIP 2008, Apr 2008, Nice, France. pp.197-200 Communication dans un congrès hal-00277708v1
Micro-tensile tests on micromachined metal on polymer specimens: elasticity, plasticity and rupture C. Seguineau,M. Ignat,C. Malhaire,S. Brida,X. Lafontanet al. DTIP 2008, Apr 2008, Nice, France. pp.8-10 Communication dans un congrès hal-00277669v1
Comparison of bulge test and point deflection methods for the mechanical characterisation of submicron thick composite membranes P. Martins,Patrick Delobelle,C. Malhaire,S. Brida,B. Barbier Transducers'07 and Eurosensors XXI, 2007, Lyon, France Communication dans un congrès hal-00330548v1
Realization of Thin Film Specimens for Micro Tensile Tests Christophe Malhaire,Michel Ignat,Karim Dogheche,Sebastiano Brida,Charles Josserondet al. TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, Jun 2007, Lyon, France Communication dans un congrès hal-02049375v1
DESIGN OF BOSSED SILICON MEMBRANES FOR HIGH SENSITIVITY MICROPHONE APPLICATIONS P. Martins,S. Beclin,S. Metivet,O. Stojanovic,C. Malhaire DTIP 2006, Apr 2006, Stresa, Lago Maggiore, Italy. 5 p Communication dans un congrès hal-00189255v1
Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications G. Fleury,C. Malhaire,C. Populaire,M. Verdier,Arnaud Devoset al. Proceedings of the 2006 European Material Research Society Spring Meeting, 2006, Nice, France Communication dans un congrès hal-00369948v1

Poster de conférence (2)

Effet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer Deposition Rémi Rafael,Etienne Puyoo,Christophe Malhaire Effet Piezo-Tunnel dans des jonctions Al/Al2O3/Al fabriquées par Atomic Layer Deposition, 2017, Strasbourg, France. 2017 Poster de conférence hal-01701475v1
Les jonctions MIM comme jauge de contrainte Rémi Rafael,Etienne Puyoo,Christophe Malhaire Les jonctions MIM comme jauge de contrainte, 2016, Grenoble, France. 2016 Poster de conférence hal-01701380v1