Elie Lefeuvre
Professeur à l'Université Paris-Saclay
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Affiliations actuelles
- 1041855
- 419361
- 441569
Identifiants chercheurs
- elie-lefeuvre
- 0000-0002-2482-240X
- IdRef : 059617926
- Google Scholar : https://scholar.google.fr/citations?user=JclR3xIAAAAJ
- ResearcherId : D-8390-2013
- ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-8390-2013
Présentation
Publications
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Nondestructive gap dimension estimation of electrostatic MEMS resonators from electrical measurementsMechanical Systems and Signal Processing, 2018, 112, pp.10-21. ⟨10.1016/j.ymssp.2018.04.016⟩
Article dans une revue
hal-01800819v1
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Efficient parameter estimation techniques for nonlinear MEMS resonatorsNonlinear Micro/Nanosystems, May 2023, Grenoble, France
Communication dans un congrès
hal-04196061v1
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Reliability of etching angle estimation of MEMS resonators from electrical measurements2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), May 2019, Paris, France. pp.1-4, ⟨10.1109/DTIP.2019.8752716⟩
Communication dans un congrès
hal-02907054v1
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Electrical characterization of MEMS gyroscopes with fast frequency sweepsEurosensors 2022, Sep 2022, Leuven (Belgique), Belgium
Poster de conférence
hal-04196025v1
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