Emmanuelle Algre

Présentation

Publications

Article dans une revue (13)

Can MEMS-based particulate matter sensors reliably measure mass? Tony Merrien,Julien Sorel,Frédéric Marty,Pierre Didier,Emmanuelle Algréet al. Sensing and Bio-Sensing Research, 2025, 48, pp.100801. ⟨10.1016/j.sbsr.2025.100801⟩ Article dans une revue hal-05076647v1
Equivalent Circuit Modeling of Air-Coupled Laterally Actuated Electrostatic Bulk-Mode MEMS Tony Merrien,Pierre Didier,Emmanuelle Algré IEEE Open Journal of Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 2024, 4, pp.63-76. ⟨10.1109/ojuffc.2024.3413603⟩ Article dans une revue hal-04676623v1
Exploring deposition pattern characteristics of aerosols and bioaerosols by inertial impaction for the development of real-time silicon MEMS mass detection systems Ugur Soysal,Evelyne Géhin,Frédéric Marty,Emmanuelle Algré,Enric Robineet al. Aerosol Science and Technology, 2021, 55 (4), pp.414-422. ⟨10.1080/02786826.2020.1861211⟩ Article dans une revue hal-04274907v1
Fabrication, electrical characterization and sub-ng mass resolution of sub-μm air-gap bulk mode MEMS mass sensors for the detection of airborne particles Ugur Soysal,Frédéric Marty,Evelyne Géhin,Charles Motzkus,Emmanuelle Algré Microelectronic Engineering, 2020, 221, pp.111190 -. ⟨10.1016/j.mee.2019.111190⟩ Article dans une revue hal-03488622v1
Aerosol mass concentration measurements: Recent advancements of real-time nano/micro systems Evelyne Géhin,U. Soysal,E. Algré,B. Berthelot,G. Daet al. Journal of Aerosol Science, 2017, 114, pp.42 - 54. ⟨10.1016/j.jaerosci.2017.09.008⟩ Article dans une revue hal-01647397v1
Modeling and detecting response of micromachining square and circular membranes transducers based on AlN thin film piezoelectric layer Etienne Herth,Laurie Valbin,Franck Lardet-Vieudrin,Emmanuelle Algre Microsystem Technologies, 2017, 23 (9), pp.3873 - 3880. ⟨10.1007/s00542-015-2727-9⟩ Article dans une revue hal-01771659v1
Modeling and characterization of piezoelectric beams based on an aluminum nitride thin-film layer Etienne Herth,E. Algré,Jean-Yves Rauch,Jean-Claude Gerbedoen,N. Defranceet al. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2016, 213 (1), pp.114 - 121. ⟨10.1002/pssa.201532302⟩ Article dans une revue istex hal-01446379v1
Investigation of optical and chemical bond properties of hydrogenated amorphous silicon nitride for optoelectronics applications Etienne Herth,H Desré,Emmanuelle Algré,Christiane I. Legrand,Tuami Lasri Microelectronics Reliability, 2012, 52 (1), pp.141-146. ⟨10.1016/j.microrel.2011.09.004⟩ Article dans une revue istex hal-02300326v1
MEMS ring resonators for laserless AFM with sub-nanoNewton force resolution Emmanuelle Algre,Zhuang Xiong,Marc Faucher,Benjamin Walter,Lionel Buchaillotet al. Journal of Microelectromechanical Systems, 2012, 21, pp.385-397. ⟨10.1109/JMEMS.2011.2179012⟩ Article dans une revue hal-00787407v1
Performances of the negative tone resist AZnLOF 2020 for nanotechnology applications Etienne Herth,Emmanuelle Algre,Pascal Tilmant,Martin François,Christophe Boyavalet al. IEEE Transactions on Nanotechnology, 2012, 11 (4), pp.854-859. ⟨10.1109/TNANO.2012.2196802⟩ Article dans une revue hal-00787415v1
Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS–NEMS wet etching process Etienne Herth,Emmanuelle Algré,Bernard Legrand,Lionel Buchaillot Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5), pp.724-728. ⟨10.1016/j.mee.2010.06.032⟩ Article dans une revue istex hal-02300269v1
Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHz Benjamin Walter,Marc Faucher,Emmanuelle Algre,Bernard Legrand,Rodolphe Boisgardet al. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2009, 19 (11), pp.115009-1-7. ⟨10.1088/0960-1317/19/11/115009⟩ Article dans une revue istex hal-00472725v1
Improved patterned media for probe-based heat assisted magnetic recording E. Algré,G. Gaudin,A. Bsiesy,J.P. Nozieres IEEE Transactions on Magnetics, 2005, 41 (10), pp.2857 - 2859. ⟨10.1109/TMAG.2005.854680⟩ Article dans une revue hal-01772554v1

Communication dans un congrès (15)

Effets des surfaces micro-nanostructurées sur l'impaction monodispersée de billes de latex Antonella Al Najjar,Frédéric Marty,Emmanuelle Algré,Pierre Didier,Evelyne Gehin 35ème congrès français sur les aérosols, Asfera, May 2022, Paris, France. ⟨10.25576/ASFERA-CFA2022-28326⟩ Communication dans un congrès hal-04298881v1
Développement de capteurs de type MEMS dédiés à la mesure en temps réel de la concentration massique en aérosols Pierre Didier,Uğur Soysal,Emmanuelle Algre,Charles Motzkus,Evelyne Gehin 35eme congrès francais sur les aérosols, ASFERA, May 2022, Paris, France. ⟨10.25576/ASFERA-CFA2022-28276⟩ Communication dans un congrès hal-04298880v1
Développement et optimisation de capteurs de type MEMS pour la détection d’aérosol Pierre Didier,Emmanuelle Algre,Charles Motzkus,Stéphane Moularat,Evelyne Gehin Instrumentation pour le suivi environnemental : cycle d'ateliers nationaux 2021, EFLUVE; ESYCOM, Sep 2021, Paris, France Communication dans un congrès hal-03956509v1
Sub-µm air-gap resonant MEMS mass sensors fabrication and electrical characterization for the detection of airborne particles Ugur Soysal,Frédéric Marty,Emmanuelle Algre,Evelyne Gehin,Charles Motzkus 2018 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), May 2018, ROMA, France. ⟨10.1109/DTIP.2018.8394231⟩ Communication dans un congrès hal-01841627v1
Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry Etienne Herth,Franck Lardet-Vieudrin,Florent Deux,Laurie Valbin,Emmanuelle Algreet al. 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2016, Budapest, France. ⟨10.1109/DTIP.2016.7514876⟩ Communication dans un congrès hal-01771668v1
Design optimisation of silicon-based MEMS sensors dedicated to bioaerosols monitoring Brice Berthelot,Emmanuelle Algre,Stéphane Moularat,Enric Robine,Evelyne Gehin 2015 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), Apr 2015, Montpellier, France. ⟨10.1109/DTIP.2015.7161009⟩ Communication dans un congrès hal-01771681v1
Detecting response of square and circular Si/AlN/Al membranes transducers by Laser Vibrometry Doppler and Impedancemeter Etienne Herth,Franck Lardet-Vieudrin,Laurie Valbin,Emmanuelle Algre 2015 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), Apr 2015, Montpellier, France. ⟨10.1109/DTIP.2015.7160996⟩ Communication dans un congrès hal-01771676v1
Near-field microscopy: Is there an alternative to micro and nano resonating cantilevers? Lionel Buchaillot,Estelle Mairiaux,Benjamin Walter,Zhuang Xiong,Marc Faucheret al. IEEE International Frequency Control Symposium, May 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/FCS.2014.6859928⟩ Communication dans un congrès hal-01962163v1
[Invité] Apport des micro et nano-systèmes pour la microscopie à force atomique Benjamin Walter,Zhuang Xiong,Emmanuelle Algre,Estelle Mairiaux,Marc Faucheret al. Journées Nationales Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2011, 2011, Strasbourg, France Communication dans un congrès hal-00807204v1
[Invité] Micro et nanorésonateurs électromécaniques radio-fréquences. Principes et applications Marc Faucher,Bernard Legrand,Benjamin Walter,Emmanuelle Algre,A. Ben-Amaret al. TELECOM'2011 & 7èmes Journées Franco-Maghrébines des Micro-ondes et leurs Applications, 2011, Tanger, Maroc. CDROM, papier 554, 1-6 Communication dans un congrès hal-00806730v1
Surface microscopy with laserless MEMS based AFM probes Emmanuelle Algre,Bernard Legrand,Marc Faucher,Benjamin Walter,Lionel Buchaillot 23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2010, Jan 2010, Hong Kong, China. pp.292-295, ⟨10.1109/MEMSYS.2010.5442509⟩ Communication dans un congrès hal-00549972v1
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators Emmanuelle Algre,Bernard Legrand,Marc Faucher,Benjamin Walter,Lionel Buchaillot 15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, Jun 2009, Denver, CO, United States. pp.1638-1641, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285774⟩ Communication dans un congrès hal-00474451v1
Tip-matter interaction measurements using MEMS ring resonators Emmanuelle Algre,Bernard Legrand,Marc Faucher,Benjamin Walter,Lionel Buchaillot Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2009, Hardelot, France Communication dans un congrès hal-00575264v1
Vers une nouvelle génération de sonde de microscopie à force atomique à base de micro et nano-systèmes électromécaniques Bernard Legrand,Emmanuelle Algre,Lionel Buchaillot,Marc Faucher,Benjamin Walter 4èmes Journées Nationales en Nanosciences et Nanotechnologies, J3N 2009, 2009, Toulouse, France Communication dans un congrès hal-00575271v1
Improved patterned media for probe-based HAMR E. Algre,G. Gaudin,A. Bsiesy,J.P. Nozieres INTERMAG Asia 2005: Digest of the IEEE International Magnetics Conference, Apr 2005, Nagoya, Japan. ⟨10.1109/INTMAG.2005.1463552⟩ Communication dans un congrès hal-01771633v1

Poster de conférence (3)

The effect of microstructured surfaces on the impaction of monodispersed polystyrene microsphere particles Antonella Al Najjar,Emmanuelle Algre,Frédéric Marty,Charles Motzkus,Pierre Didieret al. 11th International Aerosol Conference, Sep 2022, Athens, Greece Poster de conférence hal-04118344v1
Development of MEMS type sensors dedicated to real-time measurement of mass concentration in aerosols Ugur Soysal,Emmanuelle Algré,Pierre Didier,Charles Motzkus,Evelyne Gehin 11th International Aerosol Conference, Sep 2022, Athens, Greece Poster de conférence hal-03956451v1
Deposition Characteristics of Bioaerosols: Towards Black Silicon-Based MEMS Bioaerosol Detection U. Soysal,E. Gehin,Frédéric Marty,Emmanuelle Algre,Charles Motzkus Xth International Aerosol Conference 2018 (IAC2018), Sep 2018, Saint Louis, United States Poster de conférence hal-04304789v1

Autre publication scientifique (1)

Développement d’un capteur de particules à partir de microbalances MEMS C. Motzkus,E. Gehin,Emmanuelle Algré,U. Soysal 2019 Autre publication scientifique hal-04310812v1

Thèse (1)

Enregistrement thermomagnétique sous pointe AFM: vers les ultrahautes densités d'enregistrement Emmanuelle Algre Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2006. Français. ⟨NNT : ⟩ Thèse tel-00089261v1