Hugues Granier

Publications

Article dans une revue (2)

Potential of BPN as a new negative photoresist for a very thick layer with high aspect ratio David Bourrier,Ayad Ghannam,Monique Dilhan,Hugues Granier Microsystem Technologies, 2014, 20 (10-11), pp.2089 - 2096. ⟨10.1007/s00542-014-2071-5⟩ Article dans une revue hal-01873715v1
BPN a new thick negative photoresist with high aspect ratio for MEMS applications David Bourrier,Monique Dilhan,Ayad Ghannam,Lamine Ourak,Hugues Granier Microsystem Technologies, 2012, 19 (3), pp.419 - 423. ⟨10.1007/s00542-012-1648-0⟩ Article dans une revue istex hal-01873690v1

Communication dans un congrès (18)

Advantage and Challenge of Electrical Critical Dimension Test Structures for Electroplated High Aspect Ratio Nano Structures (HARNS) on Insulating Materials Yoshio Mita,Ayako Mizushima,Noriko Kawai,Tsuboi Shinji,Yurie Inoueet al. ICTMS 2025, IEEE, Mar 2025, Matsue, Japan Communication dans un congrès hal-05208090v1
How an international engineers exchange brings to a successful process/project Amel Beghersa,Noriko Kawai,Ayako Mizushima,David Bourrier,Etsuko Otaet al. ENRIS 2025, May 2025, Bologne (ITA), Italy Communication dans un congrès hal-05116797v1
Opportunities and Challenges towards Portable Nanotechnology Processes over Open Facilities Noriko Kawai,Ayako Mizushima,David Bourrier,Mathieu Arribat,Yurie Inoueet al. ENRIS 2025, Euronanolab, May 2025, Bologne (ITA), Italy Communication dans un congrès hal-05105849v1
Conventional micro and nanofabrication techniques and processes Laurent Mazenq,Pierre-François Calmon,Adrian Laborde,Franck Carcenac,Aurélie Lecestreet al. Bordeaux Summer School - Innovative technologies and clinical applications in cancer research, Université de Bordeaux, Jun 2025, Bordeaux, France Communication dans un congrès hal-05146880v1
Epicentre: A RIBER/LAAS CNRS joint lab for optimization and automation of MBE process Alexandre Arnoult,Claudine Payen,Hugues Granier,Quentin Gravelier,Léo Bourdonet al. VCSEL Day 2024, LAAS-CNRS, Sep 2024, Toulouse, France Communication dans un congrès hal-04937155v1
Packaging concerted action presentation Hugues Granier,Samuel Charlot,David Henry,Thomas Baron,Sylwester Bargiel Minapad 2024, Imaps France, Jun 2024, Grenoble, France Communication dans un congrès hal-04628001v1
Micron-to-Submicron Cu electroplating in view of Agile-X LSI Chips Fabrication using Open Facility Naonobu Shimamoto,Ayako Mizushima,David Bourrier,Etsuko Ota,Akio Higoet al. ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France Communication dans un congrès hal-04131037v1
Technology transfer of supercritical fluid deposition technology from research group to use in open nanotechnology facilities Etsuko Ota,David Bourrier,Naoto Usami,Ayako Mizushima,Naonobu Shimamotoet al. ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France Communication dans un congrès hal-04131030v1
Optimization of the energy consumption of the LAAS-CNRS micro and nanotechnologies platform Hugues Granier,Eric Tasselli,Guillaume Tanneau,Emmanuel Vialan,Laurent Bouscayrol ENRIS 2023, C2N; Euronanolab; Renatech, May 2023, Saclay, France Communication dans un congrès hal-04104768v1
Clean room engineers' exchanges: a win/win international collaboration David Bourrier,Ayako Mizushima,Naonobu Shimamoto,Etsuko Ota,Hugues Granieret al. ENRIS, May 2023, Paris, Saclay, France Communication dans un congrès hal-04476508v1
Chip or Wafer -Small quantity fabrication Shun Yasunaga,David Bourrier,Naonobu Shimamoto,Ayako Mizushima,Hugues Granieret al. 3rd European Symposium on Nanofabrication Research Infrastructure - ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France Communication dans un congrès hal-04131044v1
Programme et Equipement Prioritaire de Recherche (PEPR) d’accélération électronique Thomas Baron,Hugues Granier,David Henry Journée Technique : Solutions Innovantes pour le Packaging Electronique, Dec 2022, Palaiseau, France Communication dans un congrès hal-04224432v1
Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations Hugues Granier,Monique Dilhan European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands Communication dans un congrès hal-02159848v1
Presentation of “Renatech”, the French network of academic microfabrication clean-rooms Hugues Granier,Michel de Labachelerie,Isabelle Sagnes,Caroline Boisard ENRIS (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium) 2017, Nordic Nanolab Network, May 2017, Trondheim, Norway Communication dans un congrès hal-01525171v1
Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS David Bourrier,Monique Dilhan,Hugues Granier,Arnaud Durlach Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France Communication dans un congrès hal-01873836v1
Comparisons of the new thick negative resist to Su8 resist David Bourrier,Monique Dilhan,Ayad Ghannam,Hugues Granier SPIE Advanced Lithography, Feb 2011, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.870496⟩ Communication dans un congrès hal-01873319v1
Temporary adhesives for wafer bonding: deep reactive ion etching application David Colin,Djaffar Belharet,Pascal Dubreuil,Laurent Mazenq,Hugues Granier European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC 2009), Jun 2009, Rimini, Italy Communication dans un congrès hal-03167904v1
New lateral DMOS and IGBT structures realized on a partial SOI substrate based on LEGO process Isabelle Bertrand,Vasanta Pathirana,Éric Imbernon,Florin Udrea,Marise Bafleuret al. Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM2005), Oct 2005, Santa Barbara, United States. pp.74-77 Communication dans un congrès hal-00385958v1

Poster de conférence (3)

Action concertée Packaging Hugues Granier,Samuel Charlot,Thomas Baron,Sylwester Bargiel,David Henry Journées Nationales 2024 du PEPR électronique, Mar 2024, Grenoble, France. 2024 Poster de conférence hal-04521788v1
Action concertée transverse PAC: PACkaging et interfaçage électronique Hugues Granier,Henry David Lancement et première journée scientifique annuelle du PEPR Électronique, Mar 2023, Poitiers, France Poster de conférence hal-04389001v1
Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS Laurent Mazenq,Franck Carcenac,Pierre-François Calmon,Emmanuelle Daran,Adrian Labordeet al. Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023 Poster de conférence hal-03976338v1

Rapport (31)

Fonctionnement et maintenance de l'installation d'eau déionisée (février 2026) Hugues Granier,Laurent Bouscayrol,Éric Imbernon,Laurent Mazenq LAAS-CNRS. 2026 Rapport (rapport technique) hal-05503575v1
ACTION CONCERTÉE TRANSVERSE PACKAGING - ANNONCE DU PEPR INITIATIVE PACKAGING Huiru Ren,Aziliz Lecomte,Maman Borah,Léopold Boudier,Céline Chevalieret al. CEA-LETI; LAAS - CNRS; FEMTO-ST; UTTOP; Institut d'électronique du sud; CEA hauts de France. 2026 Rapport hal-05563363v1
Action concertée transverse 2 èmes Journées nationales du Packaging -20-21 mai 2025 -FEMTO-ST -Besançon Hugues Granier,Samuel Charlot,Thomas Baron,Sylwester Bargiel,David Henry LAAS-CNRS; FEMTO-ST; CEA-LETI. 2025 Rapport hal-05095240v1
ACPAC atelier du 19 mars 2025 Hugues Granier,Samuel Charlot,David Henry,Thomas Baron,Sylwester Bargiel LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA LETI. 2025 Rapport hal-05003661v1
ACPAC bilan 2024 Hugues Granier,Samuel Charlot,David Henry,Thomas Baron,Sylwester Bargiel LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA LETI. 2025 Rapport hal-05003674v1
Bilan des activités 2024 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,Amel Beghersa,David Bourrier,Laurent Bouscayrolet al. LAAS-CNRS. 2025 Rapport hal-05085249v1
Comteam 2025 : 10 avril 2025 Hugues Granier,Alexandre Arnoult,Mathieu Arribat,Amel Beghersa,David Bourrieret al. LAAS-CNRS. 2025 Rapport hal-05085277v1
Travaux du workshop AC PAC Workshop 19 mars 2024 Hugues Granier,Samuel Charlot,Thomas Baron,Sylwester Bargiel,David Henry LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA-LETI. 2024 Rapport (rapport technique) hal-04773211v1
AC PAC 19 mars 2024 bilan 2023 Hugues Granier,Samuel Charlot,Thomas Baron,Sylwester Bargiel,David Henry LAAS - CNRS. 2024 Rapport (rapport contrat/projet) hal-04521819v1
AC PAC CR Workshop GREMAN décembre 2023 Hugues Granier,Thomas Baron,Samuel Charlot,Sylwester Bargiel,David Henry LAAS - CNRS. 2024 Rapport (rapport de recherche) hal-04395335v1
Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre Francois Calmonet al. 2024 Rapport (rapport technique) hal-04583613v1
Guide d'utilisation du profilomètre optique SNEOX Mairame Diallo,Benjamin Reig,Hugues Granier 2023 Rapport (rapport technique) hal-04235737v1
Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre-François Calmonet al. 2023 Rapport (rapport technique) hal-04124098v1
Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre-François Calmon,Franck Carcenacet al. 2022 Rapport (rapport technique) hal-03646902v1
Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre-François Calmonet al. 2021 Rapport (rapport technique) hal-03263205v1
Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS Hugues Granier,Monique Dilhan 2020 Rapport (rapport technique) hal-03187772v1
Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Franck Carcenac,Pierre-François Calmon,Véronique Conédéra,Monique Dilhanet al. 2020 Rapport (rapport technique) hal-03187781v1
Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM Hugues Granier,Pierre-François Calmon,Franck Carcenac,Véronique Conédéra,Monique Dilhanet al. 2019 Rapport (rapport technique) hal-02137930v1
Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM Séverine Vivies,Adrian Laborde,Julien Joneau,Laurent Mazenq,Hugues Granier [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018 Rapport (rapport technique) hal-02572420v1
Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre-François Calmonet al. 2018 Rapport (rapport technique) hal-01767583v1
Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4 Julien Joneau,Laurent Mazenq,Séverine Vivies,Adrian Laborde,Hugues Granier 2018 Rapport (rapport technique) hal-01911255v1
Suivi de la réalisation du projet Thermie au 30 juin 2018 Ludovic Salvagnac,Hugues Granier,Séverine Vivies,Véronique Conédéra Région Occitanie. 2018 Rapport hal-02285816v1
Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300 Quentin Gravelier,Alexandre Arnoult,Guy Lacoste,Hugues Granier [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17205, LAAS-CNRS. 2017, 10p Rapport (rapport technique) hal-01542690v2
Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Véronique Conédéra,Monique Dilhan,Franck Carcenac,Pierre-François Calmonet al. 2017 Rapport (rapport technique) hal-01485548v1
Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300 Quentin Gravelier,Alexandre Arnoult,Guy Lacoste,Hugues Granier [Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17207, LAAS-CNRS. 2017 Rapport (rapport technique) hal-01542655v2
Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés Marianne Brillat,Inès Massiot,Laurent Mazenq,Adrian Laborde,Olivier Gauthier-Lafayeet al. 2017 Rapport (rapport technique) hal-01911188v1
Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Adrian Laborde,Alexandre Arnoult,Antoine Maiorano,Aurélie Lecestreet al. 2016 Rapport (rapport technique) hal-01867462v1
Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies Hugues Granier,Adrian Laborde,Alexandre Arnoult,Antoine Maiorano,Aurélie Lecestreet al. 2015, 105p Rapport (rapport technique) hal-01867464v1
Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones Hugues Granier,Adrian Laborde,Alexandre Arnoult,Antoine Maiorano,Aurélie Lecestreet al. 2014, 108p Rapport (rapport technique) hal-01867468v1
Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS Hugues Granier,Monique Dilhan,Christine Fourcade 2014 Rapport (rapport technique) hal-01413101v1
Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS Hugues Granier,Alexandre Arnoult,David Bourrier,Laurent Bouscayrol,Pierre-François Calmonet al. 2014 Rapport (rapport technique) hal-01867458v1

Thèse (1)

Optimisation technologique des transistors bipolaires hyperfréquence de puissance à hétérojonction GaAs/GaAlAs Hugues Granier Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1995. Français. ⟨NNT : ⟩ Thèse tel-00146678v1