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Olivier Francais
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Documents
Présentation
Directeur de la Recherche pour ESIEE-Paris
Professeur au sein du Département d'enseignement Santé, Energie, Environnement
Membre du laboratoire [ESYCOM](http://esycom.u-pem.fr/)
**Thèmes de recherche**
Microfluidique - Laboratoire sur Puce - Propriétés Electromagnétiques du Vivant
Publications
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Fabrication and characterization of resonant SOI micromechanical silicon sensors based on DRIE micromachining, freestanding release process and silicon direct bondingSPIE's International Symposium on Smart Materials, Nano-, and Micro- Smart Systems, Dec 2002, Melbourne, Australia. ⟨10.1117/12.469740⟩
Communication dans un congrès
hal-01694312v1
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