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Olivier Thomas

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PZT Nanofilm-Based Wafer Scale Nanoresonators

Denis Dezest , Fabrice Mathieu , Laurent Mazenq , Liviu Nicu , Caroline Soyer
IEEE Frequency Control Symposium, Apr 2015, Denver, United States. 6p
Communication dans un congrès hal-01144194v1
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Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators

Denis Dezest , Fabrice Mathieu , Laurent Mazenq , Caroline Soyer , Jean Costecalde
2013 Nanomechanical Sensing Workshop, May 2013, Stanford, USA, United States. pp.0
Communication dans un congrès hal-03165172v1