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Raphaël Lachaume

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Publications

dmitri-yarekha

Application of the cryogenic etching for mold fabrication in Si substrates

Dmitri Yarekha , Mathieu Halbwax , N. Belouchrani , Vincent Magnin , Joseph Harari
Journée Nationales sur les Technologies Emergentes en micronanofabrication (JNTE 2017), Nov 2017, Orléan, France. 2017
Poster de conférence hal-01647675v1