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Vanessa Avramovic
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Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulatorJournal of Micromechanics and Microengineering, 2021, 31 (8), pp.085001. ⟨10.1088/1361-6439/ac0807⟩
Article dans une revue
hal-03411474v1
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