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Vanessa Avramovic
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Identifiants chercheurs
- vanessaavramovic
- 0000-0002-0259-5373
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Gallium nitride MEMS resonators: how residual stress impacts design and performancesMicrosystem Technologies, 2018, 24 (1), pp.371-377. ⟨10.1007/s00542-017-3293-0⟩
Article dans une revue
hal-03183510v1
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