Hugues Granier

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Publications

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Publications

Conventional micro and nanofabrication techniques and processes

Laurent Mazenq , Pierre-François Calmon , Adrian Laborde , Franck Carcenac , Aurélie Lecestre et al.

Bordeaux Summer School - Innovative technologies and clinical applications in cancer research, Université de Bordeaux, Jun 2025, Bordeaux, France

Communication dans un congrès hal-05146880v1

How an international engineers exchange brings to a successful process/project

Amel Beghersa , Noriko Kawai , Ayako Mizushima , David Bourrier , Etsuko Ota et al.

ENRIS 2025, May 2025, Bologne (ITA), Italy

Communication dans un congrès hal-05116797v1

Opportunities and Challenges towards Portable Nanotechnology Processes over Open Facilities

Noriko Kawai , Ayako Mizushima , David Bourrier , Mathieu Arribat , Yurie Inoue et al.

ENRIS 2025, Euronanolab, May 2025, Bologne (ITA), Italy

Communication dans un congrès hal-05105849v1
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Advantage and Challenge of Electrical Critical Dimension Test Structures for Electroplated High Aspect Ratio Nano Structures (HARNS) on Insulating Materials

Yoshio Mita , Ayako Mizushima , Noriko Kawai , Tsuboi Shinji , Yurie Inoue et al.

ICTMS 2025, IEEE, Mar 2025, Matsue, Japan

Communication dans un congrès hal-05208090v1

Epicentre: A RIBER/LAAS CNRS joint lab for optimization and automation of MBE process

Alexandre Arnoult , Claudine Payen , Hugues Granier , Quentin Gravelier , Léo Bourdon et al.

VCSEL Day 2024, LAAS-CNRS, Sep 2024, Toulouse, France

Communication dans un congrès hal-04937155v1

Packaging concerted action presentation

Hugues Granier , Samuel Charlot , David Henry , Thomas Baron , Sylwester Bargiel

Minapad 2024, Imaps France, Jun 2024, Grenoble, France

Communication dans un congrès hal-04628001v1

Chip or Wafer -Small quantity fabrication

Shun Yasunaga , David Bourrier , Naonobu Shimamoto , Ayako Mizushima , Hugues Granier et al.

3rd European Symposium on Nanofabrication Research Infrastructure - ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France

Communication dans un congrès hal-04131044v1
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Micron-to-Submicron Cu electroplating in view of Agile-X LSI Chips Fabrication using Open Facility

Naonobu Shimamoto , Ayako Mizushima , David Bourrier , Etsuko Ota , Akio Higo et al.

ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France

Communication dans un congrès hal-04131037v1
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Technology transfer of supercritical fluid deposition technology from research group to use in open nanotechnology facilities

Etsuko Ota , David Bourrier , Naoto Usami , Ayako Mizushima , Naonobu Shimamoto et al.

ENRIS 2023, Renatech Euronanolab, May 2023, Paris Saclay, France

Communication dans un congrès hal-04131030v1

Optimization of the energy consumption of the LAAS-CNRS micro and nanotechnologies platform

Hugues Granier , Eric Tasselli , Guillaume Tanneau , Emmanuel Vialan , Laurent Bouscayrol

ENRIS 2023, C2N; Euronanolab; Renatech, May 2023, Saclay, France

Communication dans un congrès hal-04104768v1
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Clean room engineers' exchanges: a win/win international collaboration

David Bourrier , Ayako Mizushima , Naonobu Shimamoto , Etsuko Ota , Hugues Granier et al.

ENRIS, May 2023, Paris, Saclay, France

Communication dans un congrès hal-04476508v1

Programme et Equipement Prioritaire de Recherche (PEPR) d’accélération électronique

Thomas Baron , Hugues Granier , David Henry

Journée Technique : Solutions Innovantes pour le Packaging Electronique, Dec 2022, Palaiseau, France

Communication dans un congrès hal-04224432v1

Auditable invoicing of audited rates: a methodology for funding of an academic platform operations

Hugues Granier , Monique Dilhan

European Nanofabrication Research Infrastrcutures Symposium, Jun 2019, Erschende, Netherlands

Communication dans un congrès hal-02159848v1

Presentation of “Renatech”, the French network of academic microfabrication clean-rooms

Hugues Granier , Michel de Labachelerie , Isabelle Sagnes , Caroline Boisard

ENRIS (European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium) 2017, Nordic Nanolab Network, May 2017, Trondheim, Norway

Communication dans un congrès hal-01525171v1

Les dépôts électrolytiques appliqués aux micro-dispositifs au LAAS

David Bourrier , Monique Dilhan , Hugues Granier , Arnaud Durlach

Journée Toulousaine d'Electrochimie (JTE 2016), Jul 2016, Toulouse, France

Communication dans un congrès hal-01873836v1
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Comparisons of the new thick negative resist to Su8 resist

David Bourrier , Monique Dilhan , Ayad Ghannam , Hugues Granier

SPIE Advanced Lithography, Feb 2011, San Jose, United States. ⟨10.1117/12.870496⟩

Communication dans un congrès hal-01873319v1

Temporary adhesives for wafer bonding: deep reactive ion etching application

David Colin , Djaffar Belharet , Pascal Dubreuil , Laurent Mazenq , Hugues Granier

European Microelectronics and Packaging Conference (EMPC 2009), Jun 2009, Rimini, Italy

Communication dans un congrès hal-03167904v1
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New lateral DMOS and IGBT structures realized on a partial SOI substrate based on LEGO process

Isabelle Bertrand , Vasanta Pathirana , Éric Imbernon , Florin Udrea , Marise Bafleur et al.

Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM2005), Oct 2005, Santa Barbara, United States. pp.74-77

Communication dans un congrès hal-00385958v1
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Action concertée Packaging

Hugues Granier , Samuel Charlot , Thomas Baron , Sylwester Bargiel , David Henry

Journées Nationales 2024 du PEPR électronique, Mar 2024, Grenoble, France. 2024

Poster de conférence hal-04521788v1
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Moyens de lithographies de la plateforme de Micro et Nanotechnologies du LAAS-CNRS

Laurent Mazenq , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon , Emmanuelle Daran , Adrian Laborde et al.

Renatech Litho Gravure, Jan 2023, Lille, France. 2023

Poster de conférence hal-03976338v1
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Action concertée transverse PAC: PACkaging et interfaçage électronique

Hugues Granier , Henry David

Lancement et première journée scientifique annuelle du PEPR Électronique, Mar 2023, Poitiers, France

Poster de conférence hal-04389001v1
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Fonctionnement et maintenance de l'installation d'eau déionisée (février 2026)

Hugues Granier , Laurent Bouscayrol , Éric Imbernon , Laurent Mazenq

LAAS-CNRS. 2026

Rapport (rapport technique) hal-05503575v1
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Bilan des activités 2024 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , Amel Beghersa , David Bourrier , Laurent Bouscayrol et al.

LAAS-CNRS. 2025

Rapport hal-05085249v1
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Action concertée transverse 2 èmes Journées nationales du Packaging -20-21 mai 2025 -FEMTO-ST -Besançon

Hugues Granier , Samuel Charlot , Thomas Baron , Sylwester Bargiel , David Henry

LAAS-CNRS; FEMTO-ST; CEA-LETI. 2025

Rapport hal-05095240v1

ACPAC atelier du 19 mars 2025

Hugues Granier , Samuel Charlot , David Henry , Thomas Baron , Sylwester Bargiel

LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA LETI. 2025

Rapport hal-05003661v1

ACPAC bilan 2024

Hugues Granier , Samuel Charlot , David Henry , Thomas Baron , Sylwester Bargiel

LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA LETI. 2025

Rapport hal-05003674v1
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Comteam 2025 : 10 avril 2025

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , Mathieu Arribat , Amel Beghersa , David Bourrier et al.

LAAS-CNRS. 2025

Rapport hal-05085277v1
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Bilan des activités 2023 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre Francois Calmon et al.

2024

Rapport (rapport technique) hal-04583613v1
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Travaux du workshop AC PAC Workshop 19 mars 2024

Hugues Granier , Samuel Charlot , Thomas Baron , Sylwester Bargiel , David Henry

LAAS - CNRS; FEMTO-ST; CEA-LETI. 2024

Rapport (rapport technique) hal-04773211v1

AC PAC 19 mars 2024 bilan 2023

Hugues Granier , Samuel Charlot , Thomas Baron , Sylwester Bargiel , David Henry

LAAS - CNRS. 2024

Rapport (rapport contrat/projet) hal-04521819v1

AC PAC CR Workshop GREMAN décembre 2023

Hugues Granier , Thomas Baron , Samuel Charlot , Sylwester Bargiel , David Henry

LAAS - CNRS. 2024

Rapport (rapport de recherche) hal-04395335v1

Guide d'utilisation du profilomètre optique SNEOX

Mairame Diallo , Benjamin Reig , Hugues Granier

2023

Rapport (rapport technique) hal-04235737v1
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Bilan des activités 2022 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon et al.

2023

Rapport (rapport technique) hal-04124098v1
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Bilan des activités 2021 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon , Franck Carcenac et al.

2022

Rapport (rapport technique) hal-03646902v1
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Bilan des activités 2020 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon et al.

2021

Rapport (rapport technique) hal-03263205v1
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Détermination du coût complet 2019 et élaboration des tarifs pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS

Hugues Granier , Monique Dilhan

2020

Rapport (rapport technique) hal-03187772v1
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Bilan des activités 2019 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon , Véronique Conédéra , Monique Dilhan et al.

2020

Rapport (rapport technique) hal-03187781v1
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Bilan 2018 des activités de la centrale de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS et du service TEAM

Hugues Granier , Pierre-François Calmon , Franck Carcenac , Véronique Conédéra , Monique Dilhan et al.

2019

Rapport (rapport technique) hal-02137930v1
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Un bilan des activités 2017 de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon et al.

2018

Rapport (rapport technique) hal-01767583v1
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Mise au point d'un dépôt HMDS sur la plaque OBDUCAT QS V 200 BM

Séverine Vivies , Adrian Laborde , Julien Joneau , Laurent Mazenq , Hugues Granier

[Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2018

Rapport (rapport technique) hal-02572420v1
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Mise au point de procédés de lithographie UV sur l'équipement Suss Microtec MA-BA6 Gen4

Julien Joneau , Laurent Mazenq , Séverine Vivies , Adrian Laborde , Hugues Granier

2018

Rapport (rapport technique) hal-01911255v1
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Suivi de la réalisation du projet Thermie au 30 juin 2018

Ludovic Salvagnac , Hugues Granier , Séverine Vivies , Véronique Conédéra

Région Occitanie. 2018

Rapport hal-02285816v1
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Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

Marianne Brillat , Inès Massiot , Laurent Mazenq , Adrian Laborde , Olivier Gauthier-Lafaye et al.

2017

Rapport (rapport technique) hal-01911188v1
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Notice Technique : Procédure de sortie de molybloc de la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300

Quentin Gravelier , Alexandre Arnoult , Guy Lacoste , Hugues Granier

[Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17207, LAAS-CNRS. 2017

Rapport (rapport technique) hal-01542655v2
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Bilan des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Véronique Conédéra , Monique Dilhan , Franck Carcenac , Pierre-François Calmon et al.

2017

Rapport (rapport technique) hal-01485548v1
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Notice Technique : Procédure d'entrée de molybloc dans la chambre d'introduction réacteurs MBE 32 et MBE 2300

Quentin Gravelier , Alexandre Arnoult , Guy Lacoste , Hugues Granier

[Rapport Technique] Rapport LAAS n° 17205, LAAS-CNRS. 2017, 10p

Rapport (rapport technique) hal-01542690v2
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Bilan 2015 des activités de la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre et al.

2016

Rapport (rapport technique) hal-01867462v1
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Bilan 2014 des zones de la plateforme de micro et nanotechnologies

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre et al.

2015, 105p

Rapport (rapport technique) hal-01867464v1
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Protocole d'arrêt général de la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS

Hugues Granier , Alexandre Arnoult , David Bourrier , Laurent Bouscayrol , Pierre-François Calmon et al.

2014

Rapport (rapport technique) hal-01867458v1
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Détermination du coût complet et élaboration des tarifs 2014 pour les produits et prestations de la plateforme de micro et nanotechnologies du CNRS-LAAS

Hugues Granier , Monique Dilhan , Christine Fourcade

2014

Rapport (rapport technique) hal-01413101v1
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Plate forme de micro et nanotechnologies Bilan 2013 des zones

Hugues Granier , Adrian Laborde , Alexandre Arnoult , Antoine Maiorano , Aurélie Lecestre et al.

2014, 108p

Rapport (rapport technique) hal-01867468v1
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Optimisation technologique des transistors bipolaires hyperfréquence de puissance à hétérojonction GaAs/GaAlAs

Hugues Granier

Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1995. Français. ⟨NNT : ⟩

Thèse tel-00146678v1